一种低压等离子喷涂技术制备Y₂O₃陶瓷涂层的方法

摘要

本发明涉及Y₂O₃陶瓷涂层制造技术领域，具体涉及一种低压等离子喷涂技术制备Y₂O₃陶瓷涂层的方法。所述制备黑色Y₂O₃陶瓷涂层的方法，包括如下步骤：步骤(1)，选择纯度大于99.95％的Y₂O₃粉末；步骤(2)，对待喷涂的基材表面进行预处理；步骤(3)，在所述等离子喷涂开始时先将所述真空等离子喷涂设备的真空喷涂室抽真空至1-10Pa，再充入惰性气体Ar，此时使所述真空喷涂室内压力达1.3×10³Pa；继续充入H₂，使其压力达到10³～10⁴Pa后进行喷涂作业；制备出Y₂O₃涂层。本发明是在低压条件下制备Y₂O₃涂层，使用本发明制备的Y₂O₃涂层为黑色，具有优异的耐刻蚀、耐脏等性能，且成本较低。