一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法

摘要

一种在金刚石/铜复合基体表面制备Mo/AlN/BN涂层的方法，涉及一种复合材料表面处理。在金刚石/铜复合基体表面磁控溅射沉积金属Mo过渡层；在金属Mo过渡层上反应溅射沉积AlN薄膜；在AlN薄膜上沉积BN抗氧化保护层。在经过离子源轰击清洗的金刚石/铜复合基体表面，先沉积金属Mo过渡层，以缓解基体与涂层热膨胀系数失配问题，并增强膜-基结合强度；然后采用反应磁控溅射方法沉积AlN薄膜；最后沉积一层具有高热导率的BN抗氧化保护层，提高涂层的抗氧化性能。可在金刚石/铜复合基体表面制备具有高绝缘性、低相对介电系数、低介电损耗、高导热率，且结合良好、性能稳定的Mo/AlN/BN涂层。