一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统

摘要

本发明涉及一种透明导电氧化物镀膜玻璃镀膜线真空系统，其中，镀膜室通过镀膜室顶板和镀膜室端板形成腔体，在所述端板外侧设有真空隔离阀；在所述腔体顶板上安装有一阴极挡板，在所述阴极挡板上安装阴极磁控溅射装置，所述阴极磁控溅射装置利用磁控溅射进行镀膜，在所述腔体顶板上还安装抽气装置，将所述腔体内部形成真空；在所述腔体中设置辊道装置，用以传送玻璃；还包括加热冷却系统，分别设置在所述辊道装置的下方并固定所述腔体的主底板上以及所述阴极磁控溅射装置和所述抽气装置之间，所述加热冷却系统包括加热器和冷却器，所述冷却器设置在所述加热器的外侧。本发明为离线镀膜工艺提供了真空、磁场、加热及传动环境。