法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-06-30
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B 5/24 授权公告日:20150819 终止日期:20160517 申请日:20130517
专利权的终止
2015-08-19
授权
授权
2013-10-23
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 5/24 申请日:20130517
实质审查的生效
2013-09-18
公开
公开
机译: 硅电容式传感器,特别是用于测量加速度,倾斜度或旋转速度的装置-包含带有各向异性蚀刻的梯形接合垫的硅板,用于连接接合线,并通过蚀刻在垫板和下板之间定义接触面。
机译: 滑动轴承衬里啮合面高度和倾斜度的测量装置
机译: 一种用于通过两件式滑动轴承半衬套的推动面的长度和倾斜度来相互确定的测量装置