区域分类装置、基板检查装置以及区域分类方法

摘要

本发明涉及检查电路图案的区域分类技术，提高多层基板中的电路图案的检查精度。区域分类装置具有：区域提取部，基于由各自形成有电路图案的多个基板层叠而成的多层基板的设计数据来提取该多层基板中的对象层的基板上的对象区域；网表生成部，分别生成第一网表和第二网表，第一网表表示对象区域有无导电性与设计相符的对象层的电路图案和连接孔之间的电连接关系，第二网表表示对象区域有无导电性与设计不符的情况的对象层的电路图案网表和连接孔之间的电连接关系；区域分类部，在第一网表与第二网表之间存在规定的差异的时，将对象区域分类为检查中的重要区域，在不存在所述规定的差异的时，将对象区域分类为重要度低于重要区域的非重要区域。