用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸样品制备方法

摘要

本发明公开了一种用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位拉伸样品制备方法，所述原位拉伸样品包括TSV铜柱、铜柱两端的硅片和夹持端。首先将带有TSV通孔/盲孔结构的硅圆片进行切割和固定，然后对硅片进行光刻和刻蚀，暴露出TSV铜柱的中间部分，最后将TSV铜柱两端的硅片固定到夹持端，形成原位拉伸样品。本发明制备方法简单，可方便有效的进行原位TSV铜柱的拉伸性能测试，解决了块体及薄膜样品均不能反映该微小尺寸的TSV铜互连材料真实力学性能的问题，可为TSV的可靠性提供有效的数据支持。