首页> 中国专利> 用于形成多结光生伏打结构的剥离方法和光生伏打器件

用于形成多结光生伏打结构的剥离方法和光生伏打器件

摘要

本发明公开涉及用于形成多结光生伏打结构的剥离方法和光生伏打器件。具体地,提供了一种包括设置具有锗和锡合金层的锗基板的切割半导体材料的方法。应力体层被沉积于锗基板的表面上。来自应力体层的应力被施加到锗基板,其中,应力切割锗基板以提供切割表面。然后对于锗基板的锗和锡合金层选择锗基板的切割表面。在另一实施例中,锗和锡合金层可用作剥离方法中的断裂面。

著录项

  • 公开/公告号CN102832117B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-07-22

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 国际商业机器公司;

    申请/专利号CN201210195820.1

  • 申请日2012-06-14

  • 分类号H01L21/304(20060101);H01L31/18(20060101);H01L31/0352(20060101);H01L31/076(20120101);

  • 代理机构11038 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;

  • 代理人鲍进

  • 地址 美国纽约

  • 入库时间 2022-08-23 09:27:28

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2020-06-02

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L21/304 授权公告日:20150722 终止日期:20190614 申请日:20120614

    专利权的终止

  • 2017-12-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/304 登记生效日:20171116 变更前: 变更后: 申请日:20120614

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-12-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/304 登记生效日:20171116 变更前: 变更后: 申请日:20120614

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-12-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/304 登记生效日:20171116 变更前: 变更后: 申请日:20120614

    专利申请权、专利权的转移

  • 2017-12-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/304 登记生效日:20171116 变更前: 变更后: 申请日:20120614

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-07-22

    授权

    授权

  • 2015-07-22

    授权

    授权

  • 2015-07-22

    授权

    授权

  • 2013-02-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/304 申请日:20120614

    实质审查的生效

  • 2013-02-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20120614

    实质审查的生效

  • 2013-02-06

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/304 申请日:20120614

    实质审查的生效

  • 2012-12-19

    公开

    公开

  • 2012-12-19

    公开

    公开

  • 2012-12-19

    公开

    公开

查看全部

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号