金属丝放电加工装置、金属丝放电加工方法、薄板制造方法以及半导体晶片制造方法

摘要

金属丝放电加工装置具备：金属丝电极；通过缠绕上述金属丝电极而使上述金属丝电极并列的导辊；单独地与上述并列的金属丝电极滑动接触的多个滑动接触导体（62）；单独地保持上述多个滑动接触导体（62）、通过各滑动接触导体（62）向上述并列的金属丝电极单独地供电的供电夹具，其中，上述供电夹具具备决定上述滑动接触导体（62）的固定间隔的多个基准面。