一种透明基材上金属导线印迹形貌特征的检测和表征方法

摘要

本发明涉及一种透明基材上金属导线印迹的形貌特征检测和表征方法，包括（1）从透明基材的金属导线印迹样品的背面，沿与样品表面垂直方向照射样品，光源为白光，且为平行光；在透明基材的金属导线印迹样品的正面沿样品表面垂直方向设置CCD成像系统；（2）对CCD成像系统进行光透过率的标定；（3）拍摄得到透明基材上金属导线印迹的灰度数字影像；（4）利用标定关系，对灰度数字影像进行数值转换，形成印迹样品的光透过率数字影像；（5）任意选取金属导线印迹中的一段，通过数字图像处理的方法得到金属导线印迹的表面形貌、面粗糙度，以及印迹线宽度和线边缘粗糙度等形貌特征。本发明利用透射光信息得到了金属导电印迹的定量化形貌参量。