法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-05-20
授权
授权
2013-10-09
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 18/36 申请日:20130527
实质审查的生效
2013-09-04
公开
公开
机译: 一种生产稳定的超黑涂层的方法
机译: 一种具有纳米结构的3D纳米结构的方法,以及具有金属尖端的绝缘金字塔,具有纳米孔的金字塔形以及此方法可获得的水平和/或垂直纳米线的方法
机译: 一种具有纳米结构的3D纳米结构的方法,以及具有金属尖端的绝缘金字塔,具有纳米孔的金字塔形以及此方法可获得的水平和/或垂直纳米线的方法