用于无电沉积的电镀液的应用设备

摘要

本发明提供了一种无电电镀室。该无电电镀室包括一个夹头及一个碗状容器，该夹头用于支撑基底，而该碗状容器用于包围该夹头的一基座和一侧壁。该基座具有沿着该基座的内径界定的环状通道。该室包括连接至该环状通道的排液管。该排液管能够移除从该夹头收集的流体。该室中包含了能够清洁及基本干燥该基底的近接头。本发明还提供了一种无电电镀操作的实施方法。