公开/公告号CN102376603B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-05-27
原文格式PDF
申请/专利权人 华天科技(昆山)电子有限公司;
申请/专利号CN201010250590.5
发明设计人 开丽军;
申请日2010-08-09
分类号H01L21/67(20060101);H01L21/66(20060101);
代理机构32212 昆山四方专利事务所;
代理人盛建德
地址 215316 江苏省昆山市开发区纵四路东侧、同丰路北侧
入库时间 2022-08-23 09:25:40
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-15
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/67 登记生效日:20181226 变更前: 变更后: 申请日:20100809
专利申请权、专利权的转移
2015-05-27
授权
授权
2015-05-27
授权
授权
2015-02-18
著录事项变更 IPC(主分类):H01L21/67 变更前: 变更后: 申请日:20100809
著录事项变更
2015-02-18
著录事项变更 IPC(主分类):H01L 21/67 变更前: 变更后: 申请日:20100809
著录事项变更
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20100809
实质审查的生效
2012-09-19
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/67 申请日:20100809
实质审查的生效
2012-03-14
公开
公开
2012-03-14
公开
公开
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