激光焦点定位系统及将材料定位于激光焦点处的方法

摘要

本发明公开了一种激光焦点定位系统，包括激光器、会聚透镜和材料平移装置，激光器输出的激光束入射到会聚透镜上，经聚焦后入射到材料平移装置上装夹的光学材料表面，激光束经聚焦后产生等离子体亮点，该亮点通过光学材料表面形成一亮点镜像，另设置一可同时采集等离子体亮点和亮点镜像的图像并进行输出的CCD显微成像系统。本发明还公开了一种将光学材料定位于激光焦点处的方法：先通过调节激光器等使聚焦后输出的激光束产生一等离子体亮点；控制材料表面逐渐靠近等离子体亮点，直至形成亮点镜像；使等离子体亮点及其镜像均进入CCD显微成像系统的视场，直至观察到二者完全重合。本发明具有操作简便、定位精度高、人工因素干预较小等优点。