具备防静电功能的电子元件包装用包装材料及其制造方法

摘要

本发明涉及一种具有防静电功能的包装材料，提供一种用与现有的涂覆表面活性剂或者金属物质而制造的、具有防静电功能的包装材料完全不相同的材料和方式制造的新型的具有防静电功能的包装材料。本发明提供如下的新型的具有防静电功能的包装材料：在高分子薄膜上蒸镀DLC(Diamond？like？carbon)薄膜，从而具有优良的静电耗散性，同时对高分子薄膜的粘贴力良好，从而能够得到半永久性的防静电功能。并且，本发明提供能够对热敏感的高分子薄膜蒸镀DLC(Diamond？like？carbon)薄膜的磁性增强离子枪蒸镀装置以及生产率优秀的卷对卷装置。