公开/公告号CN101835914B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-03-18
原文格式PDF
申请/专利权人 JX日矿日石金属株式会社;
申请/专利号CN200880113007.7
申请日2008-09-24
分类号
代理机构中原信达知识产权代理有限责任公司;
代理人王海川
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:24:22
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-04-26
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C22B 59/00 变更前: 变更后: 申请日:20080924
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2015-03-18
授权
授权
2011-02-16
专利申请权的转移 IPC(主分类):C22B 59/00 变更前: 变更后: 登记生效日:20110104 申请日:20080924
专利申请权、专利权的转移
2010-11-03
实质审查的生效 IPC(主分类):C22B 59/00 申请日:20080924
实质审查的生效
2010-09-15
公开
公开
机译: 高纯度,包含高纯度的溅射靶,含有高纯度的薄膜以及高纯度的制造方法
机译: 高纯度,包含高纯度的溅射靶,含有高纯度的薄膜以及高纯度的制造方法
机译: 高纯度锆或ha,包含高纯度ir的溅射靶以及使用该靶形成的薄膜,高纯度锆或ha的制造方法以及高纯度锆或ha的粉末的制造方法