微机电反射镜、反射镜扫描仪、光学扫描单元和成像装置

摘要

本发明公开了微机电(MEMS)反射镜和采用该MEMS反射镜的反射镜扫描仪的几个实施方式。本发明还公开了采用该反射镜扫描仪的光学扫描单元和包括该光学扫描单元的成像装置。MEMS反射镜可包括活动单元，其可包括镜部分和磁铁架部分。镜部分可在其面上具有镜表面。磁铁架部分可包括在其中容纳磁铁的开口。MEMS反射镜还可包括第一固定端和第二固定端，通过允许活动单元的振荡或转动运动的一个或多个弹性构件将活动单元弹性支撑到第一固定端和第二固定端。