公开/公告号CN103030496B
专利类型发明专利
公开/公告日2015-02-11
原文格式PDF
申请/专利号CN201110293569.8
申请日2011-09-29
分类号
代理机构上海东方易知识产权事务所;
代理人沈原
地址 100728 北京市朝阳区朝阳门北大街22号
入库时间 2022-08-23 09:23:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-02-11
授权
授权
2013-05-08
实质审查的生效 IPC(主分类):C07C 11/06 申请日:20110929
实质审查的生效
2013-04-10
公开
公开
机译: 通过在钨极电极中掺入氢气后进行选择性氧化处理的方法,在制造半导体器件的过程中,在钨和硅存在的情况下在钨和硅中形成选择性氧化硅层
机译: 一氧化碳的选择性氧化催化剂,一氧化碳的选择性去除方法,氢气精制催化剂和氢气精制方法
机译: 一氧化碳的选择性氧化催化剂,一氧化碳的选择性去除方法,氢气精制催化剂和氢气精制方法