用于波前相位校正的光控变形镜装置

摘要

一种用于波前相位校正的光控变形镜装置，该装置的构成包括驱动光光源、计算机控制的空间光调制器、成像透镜组和变形镜，主要是将驱动光经过计算机控制的空间光调制器后的光强分布通过成像透镜成像在变形镜的光导层上，由于光导层电阻随驱动光光强增大而减小并且与空气层呈串联结构、两者总电压保持不变，变形镜的空气层上出现对应的电压分布，紧贴空气层的导电反射膜因静电吸引产生与电压分布对应的形变，便可对入射在导电反射膜表面的光进行波前位相校正。本发明具有制备工艺简单、空间分辨率高的优点。