一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置

摘要

一种用于冲扫激光传输光学系统中微小颗粒的进气节流板装置，它涉及一种用于冲扫激光传输光学组件中颗粒物的进气节流板装置。本发明为了解决现有的激光传输光学组件中微小颗粒污染和有机物污染对激光的传输质量以及对光学元件损伤问题。冲扫进气口法兰连接在进气板的中心位置上，冲扫进气节流板连接在进气板上，冲扫进气口法兰和冲扫进气节流板分列在进气板的两侧，冲扫进气节流板与进气板之间形成冲扫进气室，冲扫进气节流板上开有多个节流孔，节流孔与进气室连通，冲扫进气口法兰的进气口与进气室连通，冲扫进气节流板的厚度为5mm。本发明用于防止冲扫气体形成紊流，保持激光传输光学组件内部的空气洁净度。