测量系统的测量链的可重复性和可再现性的改进检查方法

摘要

本发明涉及一种用于测量链的可重复性和可再现性的改进检查，特别是用于借助于半导体器件测试的质量控制的方法，其中，针对将通过测量系统而经受测量的多个且不同的器件提供测试步骤，所述测量系统包括在测试设备（ATE）与将经受测量的每个器件之间的测量单元的至少一个串接。有利地，该方法包括以下步骤：检查形成所述串接的所述测量链的一部分的每种类型单元的可重复性和可再现性；然后总体上进行在各种测量链之间的相关以使用经受测量的相应器件来检查可重复性和可再现性。