感光性树脂组合物、感光性树脂层压体、抗蚀图案形成方法、以及印刷线路板、引线框、半导体封装体和凹凸基板的制造方法

摘要

本发明提供一种感光性树脂组合物，其在制作干膜时的相容性良好，用i射线、h射线两类曝光机曝光时显示同等的感光度，且分辨率、附着力优异、可通过碱性水溶液显影，进一步优选显影时不产生凝聚物。一种感光性树脂组合物，其包括以下成分：20～90质量％的（a）特定的共聚成分进行共聚的、羧基含量以酸当量计为100~600，且重均分子量为5000~500000的热塑性共聚物、5~75质量%的（b）具有至少一个末端烯属不饱和基的加成聚合性单体、0.01~30质量%的（c）含有三芳基咪唑二聚体的光聚合引发剂、以及0.001~10质量%的（d）吡唑啉化合物。