具有高ε介电材料或铁电材料的电容器及其制造方法

摘要

具有高ε介电系数或铁电系数的电容器介电体(9)的电容器，其含贵金属的存储器电极具有多个经支撑结构(9s)彼此连接的水平薄片(9L)。支撑结构可以安置到薄片的一个或优先是二个彼此对置的外侧面上。在制造时首先(其中通过淀积具有交替的较低和较高腐蚀率的层系列)特别由P⁺多晶硅形成、随后用电极材料保形填满的叠片的阴模。