用于同时检验具有不同间距的多个阵列区域的方法和装置

摘要

一个实施例涉及使用成像装置(302)同时自动地检验多个阵列区域(102)的方法。所述方法包括：选择(211或212)最优像素尺寸，以使多个阵列区域中的每一个阵列区域具有被编组单元，该被编组单元在尺寸上是整数个像素；并调整成像装置的像素尺寸为所选择的最优像素尺寸。当单元尺寸用整数表达的时候，可通过寻找(202)多个阵列区域的单元尺寸的最大公约数来确定可获得的像素尺寸范围内的最优像素尺寸。可应用预设准则来确定(208)哪一个，如果有的话，最优像素尺寸是基于预设准则可被接受的。如果没有一个最优像素尺寸是可被接受的，那么可将阵列区域之一标记为用于数字内插(见216)。还公开了其他实施例、方面和特征。