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压电元件及包括压电元件的压电致动器和振动波马达

摘要

本发明涉及一种压电元件及包括压电元件的压电致动器和振动波马达。提供一种压电元件,所述压电元件包括:电极部分,其包括层叠的压电层和电极层;和非电极部分,其与电极部分接触,并且包括压电层,而没有电极层,其中,非电极部分包括密度小于电极部分的压电层的密度的区域。

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2017-04-05

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 41/09 登记生效日:20170313 变更前: 变更后: 申请日:20120307

    专利申请权、专利权的转移

  • 2015-10-07

    专利权的转移 IPC(主分类):H01L 41/09 变更前: 变更后: 登记生效日:20150910 申请日:20120307

    专利申请权、专利权的转移

  • 2014-12-10

    授权

    授权

  • 2012-11-14

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 41/09 申请日:20120307

    实质审查的生效

  • 2012-09-19

    公开

    公开

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