公开/公告号CN102472774B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-26
原文格式PDF
申请/专利权人 MKS仪器股份有限公司;
申请/专利号CN201080032648.7
发明设计人 W·R·弗莱切;
申请日2010-06-30
分类号G01R15/09(20060101);G01R15/16(20060101);G01R19/00(20060101);H03F3/45(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人钱孟清
地址 美国马萨诸塞州
入库时间 2022-08-23 09:22:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-26
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 15/09 申请日:20100630
实质审查的生效
2012-05-23
公开
公开
机译: 快速响应的宽动态范围静电计
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