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具有快速响应的宽动态范围静电计

摘要

用于测量电流的方法以及装置包括如果第一电压在预定电平以下,则感测放大器的输出处的第一电压、以及基于第一电压和第一电阻元件的电阻计算电流,该第一电阻元件电耦合在放大器的反相输入和放大器的输出之间。该方法还包括如果从放大器输出的电压在预定电平以上,则感测缓冲器的输出处的第二电压、以及基于第一和第二电压以及第一电阻元件和第二电阻元件的电阻计算电流,该第二电阻元件电耦合在放大器的反相输入和缓冲器的输入之间,并且还通过至少一个二极管电耦合到放大器的输出。

著录项

  • 公开/公告号CN102472774B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2014-11-26

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 MKS仪器股份有限公司;

    申请/专利号CN201080032648.7

  • 发明设计人 W·R·弗莱切;

    申请日2010-06-30

  • 分类号G01R15/09(20060101);G01R15/16(20060101);G01R19/00(20060101);H03F3/45(20060101);

  • 代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;

  • 代理人钱孟清

  • 地址 美国马萨诸塞州

  • 入库时间 2022-08-23 09:22:18

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-11-26

    授权

    授权

  • 2012-07-04

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 15/09 申请日:20100630

    实质审查的生效

  • 2012-05-23

    公开

    公开

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