公开/公告号CN102460667B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-11-12
原文格式PDF
申请/专利权人 松下电器产业株式会社;
申请/专利号CN201080025456.3
申请日2010-06-03
分类号
代理机构上海市华诚律师事务所;
代理人丁利华
地址 日本国大阪府门真市大字门真1006番地
入库时间 2022-08-23 09:22:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-11-12
授权
授权
2012-06-27
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/56 申请日:20100603
实质审查的生效
2012-05-16
公开
公开
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