坐标测量机(CMM)和补偿坐标测量机中的误差的方法

摘要

本发明涉及一种坐标测量机(1)，其包括静止的基座(3)、探头(6)和用于沿第一方向运动的至少一个线性驱动机构(2X，2Y，2Z)，该线性驱动机构具有线性导向件(4X，4Y)和可动部件(5X，5Y)，该可动部件由轴承(7₁X，7₂X，7₃X，7₄X，7₁Y，7₂Y，7₃Y，7₄Y)支撑以沿着导向件运动。线性驱动机构(2X，2Y，2Z)至少还包括具有至少两个位移传感器(9₁X，9₂X，9₃X，9₄X，9₅X，9₁Y，9₂Y，9₃Y，9₄Y，95Y)的预校准的第一集成式传感器组件(10₁X，10₂X，10₁Y，10₂Y)，每个位移传感器均用于测量沿与第一方向(X，Y，Z)不平行的方向从可动部件(5X，5Y)到导向件(4X，4Y)的距离，其中感测到的距离表示可动部件(5X，5Y)沿垂直于第一方向(X，Y，Z)的方向从通常的支承位置移位的平移位移以及可动部件(5X，5Y)的旋转位移。