具有多个光电探测器的扫描光谱仪

摘要

本发明涉及一种具有探测器阵列的扫描光学光谱仪，其中利用微机电(MEMS)可倾斜微镜扫描在诸如具有平板波导输入的阵列波导光栅(AWG)的色散元件的输入端的光的聚焦光斑的位置，以便在耦合到AWG的探测器阵列上扫描光的色散光谱。用处理器单元连接单个探测器记录的亚光谱以获得输入光的光谱。