控制激光器系统的有效工作温度的方法和装置

摘要

本发明公开了一种控制激光器系统有效工作温度的方法和装置，所述激光器系统主要包括气体高压放电腔体，该放电腔体在气体高压放电工作过程中产生热量，所述方法包括如下步骤：在激光器系统的开机过程中，对激光器系统的放电腔体进行预加热，使所述放电腔体达到有效工作温度；在激光器系统的放电腔体达到有效工作温度后，停止加热，开启放电腔气体高压放电工作运转，而后针对所述放电腔体高压放电运转产热进行冷却散热，使该放电腔体维持在有效工作温度。本发明综合利用了加热和冷却两方面的措施，可以有效地减少激光器系统的预热时间，减少能源消耗，同时有效散热，控温精度高，保障激光器系统在有效工作温度条件下的有效运转。