一种CN-MCN超硬自润滑纳米复合涂层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种CN-MCN超硬自润滑纳米复合涂层及其制备方法。本发明利用电弧放电法和中空阴极电弧放电碳源联合法生成由结合层、过渡层、支撑层、润滑层依次构成的纳米复合涂层。本发明的制备方法具有离化率高、涂层设备结构简单、沉积速率快等特点。所制备CN-MCN复合涂层材料具有涂层硬度高、附着力强、自润滑性能好、涂层生长速率快、生产效率高、生产成本低、摩擦系数低，涂层韧性好，可以大幅度提高加工刀具、模具以及机械零部件的耐磨和润滑性能，此外其制备方法简单，易于实现工业生产，具有良好的应用前景。