公开/公告号CN102866590B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201210232586.5
申请日2012-07-05
分类号G03F7/20(20060101);G03F1/44(20120101);G03F1/36(20120101);
代理机构11021 中科专利商标代理有限责任公司;
代理人吴敬莲
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 09:20:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-08-13
授权
授权
2013-02-20
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20120705
实质审查的生效
2013-01-09
公开
公开
机译: 具有针对波前像差的定制响应的图案设计方法和系统
机译: 具有针对波前像差的定制响应的图案设计方法和系统
机译: 具有对波前像差的调整响应的图案设计方法和系统