公开/公告号CN102330073B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-16
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司;
申请/专利号CN201010230733.6
发明设计人 张风港;
申请日2010-07-13
分类号C23C16/50(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人逯长明;王宝筠
地址 100015 北京市朝阳区酒仙桥东路1号
入库时间 2022-08-23 09:20:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-10
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):C23C 16/50 变更前: 变更后: 申请日:20100713
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2014-07-16
授权
授权
2014-07-16
授权
授权
2012-03-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C16/50 申请日:20100713
实质审查的生效
2012-03-14
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/50 申请日:20100713
实质审查的生效
2012-01-25
公开
公开
2012-01-25
公开
公开
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