VAO生产率套件

摘要

一种半导体制造设施(fab)配置模块被限定成实质上对制造设施的物理系统和属性建立模型。数据获取模块被限定成与制造设施的物理系统接口相连并且从该物理系统收集操作数据。观察器模块被限定成聚集和集合从物理系统收集的操作数据。观察器模块被进一步限定成将操作数据处理成适于视觉呈现的格式。所处理的操作数据显示在由观察器模块控制的图形用户接口中的制造设施的视觉上下文内。分析器模块被限定成分析由观察器模块收集的数据，以及解决关于制造设施性能的查询。优化器模块被限定成响应于观察器模块收集的数据、分析器模块生成的数据或其组合来控制制造设施内的系统。