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公开/公告号CN102735881B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-02
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院微电子研究所;
申请/专利号CN201110087130.X
发明设计人 伍俊;孟真;于进勇;阎跃鹏;唐璇;
申请日2011-04-08
分类号
代理机构中科专利商标代理有限责任公司;
代理人周国城
地址 100029 北京市朝阳区北土城西路3号
入库时间 2022-08-23 09:19:55
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-02
授权
2012-12-12
实质审查的生效 IPC(主分类):G01R 1/02 申请日:20110408
实质审查的生效
2012-10-17
公开
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