公开/公告号CN102522321B
专利类型发明专利
公开/公告日2014-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 上海华力微电子有限公司;
申请/专利号CN201110391415.2
申请日2011-11-30
分类号
代理机构隆天国际知识产权代理有限公司;
代理人宋晓宝
地址 201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号
入库时间 2022-08-23 09:19:47
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-07-09
授权
授权
2012-09-05
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/02 申请日:20111130
实质审查的生效
2012-06-27
公开
公开
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