一种获取光刻机最佳参数的方法及装置

摘要

本发明公开了一种获取光刻机最佳参数的方法，设置所需分辨率，该方法包括：输入参数并计算断截数值孔径值；判断当前数值孔径值是否小于断截数值孔径值，如果小于，则计算当前数值孔径值对应的景深值、分辨率并保存，将数值孔径值增加数值孔径增加步长作为新的当前数值孔径值，再次计算；否则，选择分辨率小于所需分辨率，且景深值最大的一组景深值、分辨率及对应的数值孔径值输出。本发明还公开了相应装置，根据输入参数计算并选出最佳的一组景深值、分辨率及对应的数值孔径值输出。本发明提高光刻机调机效率，延长了硅片的使用寿命。