半导体制造设备控制系统的配置设备单元状态控制方法

摘要

一种包括主计算机的预定单元监控模块的半导体制造设备控制系统中配置设备的状态控制方法，通过单元监控模块，实时识别设备的单元工作状态，并控制设备，按各设备的实际工作能力对加工件进行加工。结果，能有效控制设备的整个生产力，并按设备的工作能力把待处理的加工件分配进设备中。