一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及其制作方法

摘要

本发明涉及一种全固态高循环寿命薄膜锂电池及其制作方法，其特征在于薄膜锂电池组成为：①在玻璃衬底表面溅射一层Al薄膜；②在Al薄膜表面溅射沉积一层氮化镍钴薄膜，作为阳极薄膜，氮化镍钴薄膜的组成通式为Co_mNi_1-mN(0＜m＜1)；③在氮化镍钴薄膜的表面溅射沉积组成通式为Li_1+xM_xTi(PO4)₃薄膜(0＜x＜2)，M为Al、Sc、Y、Fe或Cr；④在Li₁₊M_xTi(PO4)₃薄膜上沉积一层金属锂薄膜；⑤在Li薄膜沉积Ni薄膜作为阴极集电极；⑥在Li薄膜表面覆盖封装后，且分别在阴极和阳极集电极处引出Au处。且具有制备工艺简单，不需要高温退火过程，电池按国标测定充放电循环次数达1500次，且保持电池容量80％，且可通过沉积多层膜方法实现高电压输出，在微能源、传感器以及网络方面有广泛应用。