具有冷却布置的检测器模块、包括所述检测器模块的光刻设备

摘要

本发明描述了一种检测器模块(20)，其包括：至少一个检测器(30)，用于感测光子辐射；电子电路(40)，耦接至所述至少一个检测器(30)；和具有第一和第二主体(60，70)的壳体(50)，每一主体具有底部部分(62，72)和从所述底部部分(62，72)延伸的至少部分筒形部分(64，74)，其中所述第一主体(60)的至少部分筒形部分(64)与所述第二主体(70)的至少部分筒形部分(74)热耦接，其中所述第一主体(60)的至少部分筒形部分(64)朝向所述第二主体(70)的底部部分(72)延伸，且其中所述电子电路(40)布置在所述壳体(50)的内部。还描述了包括检测器模块(20)的光刻设备。