压力、声压变化、磁场、加速、振动或气体组成的测量器

摘要

本发明涉及用于测量压力、声压变化、磁场、加速度、振动或气体组成的传感器(1)和方法。该传感器(1)包括超声发射器(2)和布置成与之连接的腔(4)。根据本发明，传感器(1)包括位于腔(4)的与超声发射器(2)相对的端部处的无源传感器元件(3，3′)，其距超声发射器(2)的距离选择成使得在所用超声频率满足谐振条件，超声发射器(2)包括轻构造膜片振荡器(9)，其因此良好地连接到周围介质，且该传感器包括用于测量该超声发射器(2)与该腔(4)之间相互作用的器件。