基于数字微镜器件的曲率波前传感器

摘要

本发明是一种基于数字微镜器件的曲率波前传感器，在透镜及其焦面位置之间放置数字微镜器件，利用数字微镜器件将经过透镜的待测光波分别向两个方向反射聚焦光波；两个光电探测器阵列分别位于数字微镜器件的两个方向上的两束反射聚焦光波上并分别探测两束反射聚焦光波不同位置点的远场光强分布图像，获得焦平面前后对称离焦面上的两幅有差异的远场光强分布图像；根据菲涅尔衍射理论和几何光学近似，得到两离焦面上对应点归一化的光强分布差与入射波前曲率以及光瞳边缘处波前的法向斜率之间的关系并利用泊松方程获取待侧光波的波前相位。