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用于沉积材料的制造设备和其中使用的电极

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本发明提供了一种用于在载体上沉积材料的制造设备和用于这种制造设备的电极。典型地，载体具有彼此隔开的第一端和第二端。插座设置在载体的每端处。这种制造设备包括限定了腔室的壳体。设置穿过壳体的至少一个电极，其中电极至少部分地设置于腔室内以便联接至插座。电极具有外表面，该外表面具有适于接触插座的接触区域。外部涂层设置在电极的外表面上，位于接触区域外侧。外部涂层具有至少9x10

著录项

公开/公告号CN102047751B

专利类型发明专利
公开/公告日2014-01-29

原文格式PDF
申请/专利权人赫姆洛克半导体公司;
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申请/专利号CN200980120357.0
发明设计人 D·希拉布兰德;T·纳普;
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申请日2009-04-13
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人王会卿
地址美国密执安
入库时间 2022-08-23 09:17:36

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2014-01-29

授权

授权
2011-06-15

实质审查的生效 IPC(主分类):H05B 3/03 申请日:20090413

实质审查的生效
2011-05-04

公开

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