静磁波器件及其制造方法

摘要

为了构图形成于非磁性柘榴石衬底表面上的磁性柘榴石层，从衬底侧算起依次形成磁性柘榴石层、中间层和抗蚀剂层，中间层和抗蚀剂层成形为岛形，然后，用热磷酸溶液腐蚀磁性柘榴石层，中间层由比抗蚀剂层更易溶于热磷酸溶液的材料构成，以便使腐蚀过的磁性柘榴石层的侧面形成为平缓的斜面，可以不发生破裂地形成延伸于非磁性柘榴石衬底和磁性柘榴石层上的导体图形，或在衬底的背面上形成保护抗蚀剂层，以便可以精确地控制加于磁性柘榴石层表面上的磁场的角度。