TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置

摘要

本发明提供一种TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法及用于实施该方法的取片组合装置，该TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉的UV照度的检测方法包括如下步骤：步骤1、提供TFT-LCD制程中多层UV烘烤炉、取片装置、检测控制系统及可检测UV照度的传感器；步骤2、在取片装置上设置传感器；步骤3、通讯连接检测控制系统与传感器；步骤4、操作取片装置将传感器送到多层UV烘烤炉的炉层中需要检测UV照度的位置处；步骤5、传感器采集数据，并将取得的数据传送到检测控制系统，从而实现检测。该取片组合装置包括取片装置及设置于取片装置的传感器。