灯退火装置及灯退火方法

摘要

一种灯退火装置是监视退火时的晶片16的实际温度、由该信号控制加热晶片用的灯加热器14的电力。监视晶片实际温度用的接触式温度传感器的热电偶17在处理室(燃烧室)中被埋入保持晶片的基座12或台座内，且通过在晶片面内的多个位置设置这些热电偶，详细地监视晶片内的实际温度，用该温度，个别地控制各灯14。该装置用于退火工艺，能抑制晶片面内的温度不均。