用于脉冲涡流检查的自动提离补偿

摘要

本发明提供用于脉冲涡流检查的自动提离补偿。探头(1)和被测试结构(2)表面之间的提离间隔的变化常常掩蔽结构中缺陷的检测。描述了用于自动分类和补偿提离的变化的方法和设备。已知提离处的参考信号(23)可以用对应的计算的比率参数加权，并从测试信号(32)减去，以补偿提离。优选获得多个参考信号，并且优选确定每个参考信号的最大幅度梯度(24)。还获得后续的测试信号的最大幅度梯度(33)，识别具有最接近测试信号的最大幅度梯度的对应参考信号，并在相关补偿程序中选择该对应的参考信号。已发现这种方法将信号恢复为使得提离被消除，并且缺陷容易被识别。