使可变负载阻抗与RF能量发生器阻抗相匹配的方法和装置

摘要

一种用来使一负载的可变阻抗与一射频(RF)能量发生器的固定阻抗相匹配以提供最大能量输送的方法和装置。该阻抗匹配网络还使一RF能量发生器能改变施加到一负载如一等离子体腔上的电压频率，该等离子体腔可用于一半导体或平板等离子体显示装置生产过程中。该阻抗匹配网络还利用固定的固态元件来调整所带负载的阻抗，以便在发生器与负载之间提供最大的能量输送。一并联开关电容器受一电气开关装置如PIN二极管的控制，以使固定电容器开通或关断。把一用来改变外加电压的装置用来在几毫秒的时间内使负载的阻抗与RF能量发生器的阻抗相匹配。