改进的化学干燥和净化系统

摘要

一种系统(11)，用于干燥和/或净化工件(17A)，如电子部件、半导体片、印刷电路板等。当从处理液或漂洗液(13)中拉出工件时，将一种选定的干燥和/或净化液体，如氟代烃(HFE)、乙基化的氟代烃、或氟代烃或乙基化氟代烃的共沸混合物喷射、滴流、或用别的方法输送到工件的露出表面上，上述干燥和/或净化液体具有很小的表面张力、是挥发性的，并具有比处理液密度大很多的密度。在大多数情况下，工件可以在7-45秒、或更短时间内干燥，并可以用本发明净化。干燥和/或净化可以用单工件法、单工件、连续法、或批量法进行。