法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-11-09
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C 8/38 授权公告日:20130828 终止日期:20150926 申请日:20110926
专利权的终止
2013-08-28
授权
授权
2012-07-04
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 8/38 申请日:20110926
实质审查的生效
2012-02-01
公开
公开
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