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电子束装置、图象形成装置及电子束装置的制造方法

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一种电子束装置，有带有电子发射部分的第一基板，面对第一基板的第二基板，和在第一和第二基板之间设置的元件，其中该元件是用于维持第一和第二基板之间距离的隔板，至少在元件的表面上形成氮化碳，以抑制元件上的电荷，或抑制电荷量的变化，从而抑制电子束轨道偏离期望的轨道。

著录项

公开/公告号CN1114224C

专利类型发明授权
公开/公告日2003-07-09

原文格式PDF
申请/专利权人佳能株式会社;
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申请/专利号CN98117973.8
发明设计人黑田和生;高木博嗣;大栗宣明;
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申请日1998-07-31
分类号H01J31/12;H01J9/02;H01J29/46;
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人王永刚
地址日本东京都
入库时间 2022-08-23 08:56:18

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2015-09-23

未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J 31/12 授权公告日:20030709 终止日期:20140731 申请日:19980731

专利权的终止
2003-07-09

授权

授权
1999-04-21

公开

公开
1999-03-31

实质审查请求的生效

实质审查请求的生效

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专利
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外文文献

1. 电子束装置、图象形成装置及电子束装置的制造方法 [P] . 中国专利： CN1114224C . 2003.07.09
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